研削砥石や研削油剤と同じように、半導体製造にも「研磨」に関わる材料があります。 その一つが、CMPスラリーです。 ただし、CMPスラリーは、安いものにすぐ替えられる一般的な消耗品とは少し違います。 半導体工程の条件に組み込まれ、品質や歩留まりに関わる材料です。 歩留まりとは、投入したウェハや製品のうち、良品として得られる割合のことです。 CMPスラリーの供給が止まると、工程条件、品質、歩留まり、納期に影響する可能性があります。 だからこそ、価格より先に「代替できるか」を見ておく必要があります。